Details

В данной работе рассмотрены возможности применения процесса атомно-слоевого осаждения для нанесения декоративных покрытий. Изучена методика получения слоев оксида алюминия и оксида титана методом атомно-слоевого осаждения. На базе изученной литературы были рассчитаны параметры покрытий разных цветов и были проведены эксперименты по осаждению по рассчитанным параметрам. После были изучены свойства получаемых покрытий. В результате были получены декоративные покрытия на основе оксида алюминия зеленого, голубого, фиолетового, жёлтого цветов.

In this paper, the possibilities of using the atomic layer deposition process for the application of decorative coatings are considered. The technique of obtaining layers of aluminum oxide and titanium oxide by the method of atomic layer deposition has been studied. On the basis of the studied literature, the parameters of coatings of different colors were calculated and deposition experiments were carried out according to the calculated parameters. After that, the properties of the resulting coatings were studied. As a result, decorative coatings based on green, blue, violet, yellow aluminum oxide were obtained.