В работе представлена разработка системной модели МЭМС емкостного акселерометра с компенсацией по перемещению. Рассмотрены существующие типы интерфейсов преобразования перемещения в емкость, а также основные достоинства использования дельта-сигма управления. В ходе работы была спроектирована системная модель акселерометра с компенсацией по перемещению в среде Matlab/Simulink, а также топология ЧЭ ММА.

This paper represents the development of a system model of MEMS capacitive accelerometer with force feedback. The existing types of interfaces for converting displacement into capacitance, as well as the main advantages of using delta-sigma control, are considered. In the course of the work the system model of the force feedback accelerometer was designed in the Matlab/Simulink environment, as well as topology of sensing element of MMA.