Details
| Title | Разработка МЭМС акселерометра с компенсацией по перемещению: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи» ; образовательная программа 11.04.02_05 «Микроэлектроника инфокоммуникационных систем (международная образовательная программа)» |
|---|---|
| Creators | Тулаев Артём Толибович |
| Scientific adviser | Лобода Вера Владимировна ; Беляев Яков Валерьевич |
| Other creators | Енученко Михаил Сергеевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2021 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | Акселерометры ; Автоматические системы — Моделирование ; мэмс ; микромеханический акселерометр ; чувствительный элемент ; системная модель ; дельта-сигма модулятор |
| UDC | 519.876.5 ; 531.768 |
| Document type | Master graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Master |
| Speciality code (FGOS) | 11.04.02 |
| Speciality group (FGOS) | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| Links | Отзыв руководителя ; Рецензия ; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2917 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | ru\spstu\vkr\11787 |
| Record create date | 6/25/2021 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
В работе представлена разработка системной модели МЭМС емкостного акселерометра с компенсацией по перемещению. Рассмотрены существующие типы интерфейсов преобразования перемещения в емкость, а также основные достоинства использования дельта-сигма управления. В ходе работы была спроектирована системная модель акселерометра с компенсацией по перемещению в среде Matlab/Simulink, а также топология ЧЭ ММА.
This paper represents the development of a system model of MEMS capacitive accelerometer with force feedback. The existing types of interfaces for converting displacement into capacitance, as well as the main advantages of using delta-sigma control, are considered. In the course of the work the system model of the force feedback accelerometer was designed in the Matlab/Simulink environment, as well as topology of sensing element of MMA.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 58
Last 30 days: 0
