Details

Title: Разработка МЭМС акселерометра с компенсацией по перемещению: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи» ; образовательная программа 11.04.02_05 «Микроэлектроника инфокоммуникационных систем (международная образовательная программа)»
Creators: Тулаев Артём Толибович
Scientific adviser: Лобода Вера Владимировна; Беляев Яков Валерьевич
Other creators: Енученко Михаил Сергеевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2021
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Акселерометры; Автоматические системы — Моделирование; мэмс; микромеханический акселерометр; чувствительный элемент; системная модель; дельта-сигма модулятор
UDC: 519.876.5; 531.768
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 11.04.02
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
Links: Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2917
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: ru\spstu\vkr\11787

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

В работе представлена разработка системной модели МЭМС емкостного акселерометра с компенсацией по перемещению. Рассмотрены существующие типы интерфейсов преобразования перемещения в емкость, а также основные достоинства использования дельта-сигма управления. В ходе работы была спроектирована системная модель акселерометра с компенсацией по перемещению в среде Matlab/Simulink, а также топология ЧЭ ММА.

This paper represents the development of a system model of MEMS capacitive accelerometer with force feedback. The existing types of interfaces for converting displacement into capacitance, as well as the main advantages of using delta-sigma control, are considered. In the course of the work the system model of the force feedback accelerometer was designed in the Matlab/Simulink environment, as well as topology of sensing element of MMA.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU, N2) Read
Internet Authorized users (not from SPbPU, N1)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 8
Last 30 days: 3
Detailed usage statistics