Тулаев, Артём Толибович. Разработка МЭМС акселерометра с компенсацией по перемещению: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи» ; образовательная программа 11.04.02_05 «Микроэлектроника инфокоммуникационных систем (международная образовательная программа)» = Design of force-feedback MEMS accelerometer / А. Т. Тулаев; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций; научный руководитель В. В. Лобода; научный руководитель Я. В. Беляев; консультант по нормоконтролю М. С. Енученко. — Санкт-Петербург, 2021. — 1 файл (4,4 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/vr21-2917.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2917-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2917-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2917-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2917. — Текст