Воронович, Ева Игоревна. Газофазное осаждение слоев диоксида кремния в системе октаметилциклотетрасилоксан-озон-кислород: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники» = Chemical Vapour Deposition of Silicon Dioxide Films in the OMTS-ozone-oxigen system / Е. И. Воронович; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Л. А. Филатов; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2021. — 1 файл (1,3 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/vr21-2963.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2963-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2963-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2963. — Текст