Работа посвящена изучению формирования золотых и золото-палладиевых наночастиц методами термического отжига и ионно-лучевой бомбардировки. В ходе работы были исследованы закономерности формирования наночастиц из плёнки золота, нанесённой методом термического испарения от параметров облучения (тип иона, доза облучения). Показана возможность формирования биметаллических частиц из последовательно осаждённых методом термического испарения плёнок из золота и палладия при отжиге в воздушной атмосфере. Облучение атомарными и молекулярными ионами золотых плёнок, нанесённых на поверхность полиметилметакрилата, сначала ведёт к сглаживанию этой плёнки при малых дозах, а после с увеличением дозы ведёт к разбиению золота на массив наночастиц в широком диапазоне размеров. Облучение ионами в процессе формирования наночастиц на поверхности полимера ведёт к разрушению цепочек С-CH2.

The work is devoted to the study of the formation of gold and gold-palladium nanoparticles by thermal annealing and ion-beam irradiation. The regularities of nanoparticle formation from a gold film deposited by thermal evaporation on the irradiation parameters (kind of ion and irradiation dose) were investigated. The possibility of the formation of bimetallic particles from sequentially deposited gold and palladium films upon annealing in air ambient is shown. Irradiation of gold films deposited on the surface of polymethyl methacrylate with atomic and molecular ions leads to smoothing of this film at low doses, and then, with dose increase, leads to the formation of an array of nanoparticles in a wide range of sizes. Ion irradiation o the polymer substrate leads to the destruction of C-CH2 chains.