Цель данной работы – разработка датчика вибрации на основе МЭМС акселерометра. Для достижения поставленной цели решаются сле-дующие задачи: обзор датчиков виброперемещения; исследование харак-теристик акселерометров различных типов; схемотехническая реализация алгоритма преобразования сигнала виброускорения акселерометра в сигнал виброперемещения; разработка печатной платы датчика вибропере-мещения, сборка и отладка полученной схемы; измерение характеристик полученного датчика абсолютной вибрации. По результатам был разработан прототип датчика виброперемещений, который может использоваться для контроля вибраций конструкций силовых машин на гидроэлектро-станциях. Данный датчик по точности, габаритам и стоимости превосходит ближайшие аналоги.

The purpose of this work is to develop a vibration sensor based on the MEMS accelerometer. To achieve this goal, the following tasks are solved: re-view of vibration displacement sensors; investigation of the characteristics of accelerometers of various types; circuit implementation of the algorithm for converting the accelerometer vibration acceleration signal into a vibration dis-placement signal; development of a printed circuit board for the vibration dis-placement sensor, assembly and debugging of the resulting circuit; measure-ment of the characteristics of the obtained absolute vibration sensor. Based on the results, a prototype of a vibration displacement sensor was developed, which can be used to monitor the vibrations of power machine structures at hydroelectric power stations. This sensor exceeds the nearest analogues in ac-curacy, size and cost.