Федоров, Павел Алексеевич. Атомно слоевое осаждение пленок системы Ta-O: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.03.01_01 «Материаловедение и технологии новых материалов» = Atomic Layer Deposition of Ta-O System Films / П. А. Федоров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель М. Ю. Максимов; консультант по нормоконтролю Р. А. Паршиков. — Санкт-Петербург, 2021. — 1 файл (2,2 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/vr21-4590.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-4590-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-4590-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-4590. — Текст