Данная работа посвящена исследованию процессов диссипации, протекающих в микромеханических балочных резонаторах. Задачи, которые решались в ходе работы: 1. Исследование и анализ аналитических моделей анкерной и термоупругой диссипации. 2. Численное моделирование процессов диссипации. 3. Обработка численных результатов и их сравнение с аналитическими решениями. 4. Исследование свойств PML для задач с бесконечными областями. 5. Исследование значений полной добротности в зависимости от пара-метров системы. В ходе работы были наглядно продемонстрированы свойства добротности колебаний балочных резонаторов в зависимости от геометрических и температурных параметров системы. Приведены сравнения аналитических и численных вычислений добротности на примере резонаторов двух типов закреплений в зависимости от их параметров. Численные исследования проводились в программе конечно-элементного анализа Comsol Multiphysics. Получены графики добротности при варьировании различных геометрических параметров резонаторов при совместном учете анкерной и термоупругой диссипации.

This work is devoted to the study of the dissipation processes occurring in micromechanical beam resonators. The research set the following goals: 1. Research and analysis of analytical models of anchor and thermoelastic dissipation. 2. Numerical simulation of dissipation processes. 3. Processing of numerical results and their comparison with analytical solutions. 4. Exploring the properties of PML for problems with infinite domains. 5. Investigation of the total Q-factor values depending on the system parameters. In the course of the work, the properties of the Q-factor of vibrations of beam resonators were clearly demonstrated, depending on the geometric and temperature parameters of the system. Comparisons of analytical and numerical calculations of the Q-factor on the example of resonators of two types of bonds, depending on their parameters, are given. Numerical studies were carried out in the Comsol Multiphysics finite element analysis program. The Q-factor graphs are obtained for varying the various geometric parameters of the resonators with the joint account of the anchor and thermo-elastic dissipation.