Тема выпускной квалификационной работы: Разработка твердотельного источника питания для ВЧИ плазмы низкого давления. Данная работа посвящена разработке твердотельного источника питания, который может быть применен для электроснабжения ВЧИ плазмы низкого давления. При проектировании данного источника питания была произведенная работа, включающая в себя следующие задачи:1) Обзор существующих высокочастотных плазменных технологий и источников питания 2) Расчет ВЧИ плазмотрона с помощью модели ComsolMultiphysics 3) Приближенный расчет высокочастотного трансформатора 4) Создание цифрового двойника силового высокочастотного трансформатора в среде Comsol Multiphysics для нахождения его основных параметров и расчета Т-образной схемы замещения 5) Создание модели твердотельного источника питания в программе Matlab/Simulink Проведение и анализ серии расчётов.

The topic of final qualification work: Development of a solid-statesourcefor low-pressure RF plasma. This work focuses on the development of a solid-state power supply, which can be used to power a low-pressure RF plasma. In the design of this power supply the following tasks were carried out:1)  Overview of existing RF plasma technologies and power supplies 2)  Calculation of RF plasma torch using model in the Comsol Multiphysics 3)  Approximate calculation of a high-frequency transformer 4)  Development the digital twin of a power high-frequency transformer in the Comsol Multiphysics environment to find its main parameters and calculate the T-shape substitution diagram 5)  Creation of solid-state power supply model in Matlab/Simulink softwareMaking and analysis of a series of calculations.