Детальная информация
Название | Пьезорезистивный МЭМС-датчик давления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_03 «Интегральная электроника и наноэлектроника» |
---|---|
Авторы | Полеева Галина Александровна |
Научный руководитель | Лобода Вера Владимировна |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2022 |
Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
Тематика | датчики давления ; пьезорезистивность ; измерение давления ; нелинейность ; чувствительность ; keywords: pressure sensor ; piezoresistivity ; pressure measurement ; non-linearity error ; sensitivity |
Тип документа | Выпускная квалификационная работа бакалавра |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Уровень высшего образования | Бакалавриат |
Код специальности ФГОС | 11.03.04 |
Группа специальностей ФГОС | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
DOI | 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-2637 |
Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | ru\spstu\vkr\18604 |
Дата создания записи | 16.12.2022 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Объект исследования – пьезорезистивные датчики давления. Цель работы – разработка чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления. В результате исследования были рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена 3D модель чувствительного элемента, определен диапазон измеряемых давлений и снята зависимость выходного напряжения от прикладываемого давления.
The subject of the graduate qualification work is “piezoresistive pressure sensors”. This work is devoted to the construction of a 3D model of a piezoresistive pressure sensor. A review of the literature on this topic was conducted. Also methods for improving the output characteristics of sensors, in particular sensitivity and linearity, were analyzed. A 3D model of the sensing element is constructed, the range of measured pressures is determined and the dependence of the output voltage on the applied pressure is removed.
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 30
За последние 30 дней: 1