Объект исследования – пьезорезистивные датчики давления. Цель работы – разработка чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления. В результате исследования были рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена 3D модель чувствительного элемента, определен диапазон измеряемых давлений и снята зависимость выходного напряжения от прикладываемого давления.

The subject of the graduate qualification work is “piezoresistive pressure sensors”. This work is devoted to the construction of a 3D model of a piezoresistive pressure sensor. A review of the literature on this topic was conducted. Also methods for improving the output characteristics of sensors, in particular sensitivity and linearity, were analyzed. A 3D model of the sensing element is constructed, the range of measured pressures is determined and the dependence of the output voltage on the applied pressure is removed.