Details
| Title | Пьезорезистивный МЭМС-датчик давления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_03 «Интегральная электроника и наноэлектроника» |
|---|---|
| Creators | Полеева Галина Александровна |
| Scientific adviser | Лобода Вера Владимировна |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2022 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | датчики давления ; пьезорезистивность ; измерение давления ; нелинейность ; чувствительность ; keywords: pressure sensor ; piezoresistivity ; pressure measurement ; non-linearity error ; sensitivity |
| Document type | Bachelor graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Bachelor |
| Speciality code (FGOS) | 11.03.04 |
| Speciality group (FGOS) | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-2637 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | ru\spstu\vkr\18604 |
| Record create date | 12/16/2022 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Объект исследования – пьезорезистивные датчики давления. Цель работы – разработка чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления. В результате исследования были рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена 3D модель чувствительного элемента, определен диапазон измеряемых давлений и снята зависимость выходного напряжения от прикладываемого давления.
The subject of the graduate qualification work is “piezoresistive pressure sensors”. This work is devoted to the construction of a 3D model of a piezoresistive pressure sensor. A review of the literature on this topic was conducted. Also methods for improving the output characteristics of sensors, in particular sensitivity and linearity, were analyzed. A 3D model of the sensing element is constructed, the range of measured pressures is determined and the dependence of the output voltage on the applied pressure is removed.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 30
Last 30 days: 1
