Details

Title: Пьезорезистивный МЭМС-датчик давления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_03 «Интегральная электроника и наноэлектроника»
Creators: Полеева Галина Александровна
Scientific adviser: Лобода Вера Владимировна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2022
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: датчики давления; пьезорезистивность; измерение давления; нелинейность; чувствительность; keywords: pressure sensor; piezoresistivity; pressure measurement; non-linearity error; sensitivity
Document type: Bachelor graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Bachelor
Speciality code (FGOS): 11.03.04
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-2637
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: ru\spstu\vkr\18604

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Объект исследования – пьезорезистивные датчики давления. Цель работы – разработка чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления. В результате исследования были рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена 3D модель чувствительного элемента, определен диапазон измеряемых давлений и снята зависимость выходного напряжения от прикладываемого давления.

The subject of the graduate qualification work is “piezoresistive pressure sensors”. This work is devoted to the construction of a 3D model of a piezoresistive pressure sensor. A review of the literature on this topic was conducted. Also methods for improving the output characteristics of sensors, in particular sensitivity and linearity, were analyzed. A 3D model of the sensing element is constructed, the range of measured pressures is determined and the dependence of the output voltage on the applied pressure is removed.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 14
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics