Table | Card | RUSMARC | |
Allowed Actions: –
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
Объект исследования – пьезорезистивные датчики давления. Цель работы – разработка чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления. В результате исследования были рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена 3D модель чувствительного элемента, определен диапазон измеряемых давлений и снята зависимость выходного напряжения от прикладываемого давления.
The subject of the graduate qualification work is “piezoresistive pressure sensors”. This work is devoted to the construction of a 3D model of a piezoresistive pressure sensor. A review of the literature on this topic was conducted. Also methods for improving the output characteristics of sensors, in particular sensitivity and linearity, were analyzed. A 3D model of the sensing element is constructed, the range of measured pressures is determined and the dependence of the output voltage on the applied pressure is removed.
Document access rights
Network | User group | Action | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
![]() ![]() ![]() |
||||
External organizations N2 | All |
![]() |
||||
External organizations N1 | All | |||||
Internet | Authorized users SPbPU |
![]() ![]() ![]() |
||||
Internet | Authorized users (not from SPbPU, N2) |
![]() |
||||
Internet | Authorized users (not from SPbPU, N1) | |||||
![]() |
Internet | Anonymous |
Usage statistics
|
Access count: 3
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |