Полеева, Галина Александровна. Пьезорезистивный МЭМС-датчик давления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_03 «Интегральная электроника и наноэлектроника» = Piezoresistive mems pressure sensor / Г. А. Полеева; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт электроники и телекоммуникаций; научный руководитель В. В. Лобода. — Санкт-Петербург, 2022. — 1 файл (2,2 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2022/vr/vr22-2637.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-2637. — Текст