Детальная информация

Название: Разработка чувствительного элемента МЭМС-акселерометра: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Наноэлектроника и микроэлектромеханические системы»
Авторы: Косых Игорь Олегович
Научный руководитель: Лобода Вера Владимировна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2022
Коллекция: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Тематика: МЭМС; емкостной; акселерометр; трехосевой; КНИ; gap-closing; MEMS; capacitive; accelerometer; three-axis; SOI
Тип документа: Выпускная квалификационная работа магистра
Тип файла: PDF
Язык: Русский
Уровень высшего образования: Магистратура
Код специальности ФГОС: 11.04.04
Группа специальностей ФГОС: 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-3768
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Дополнительно: Новинка
Ключ записи: ru\spstu\vkr\18124

Разрешенные действия:

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

Данная работа посвящена разработке чувствительного элемента трехосевого емкостного микроэлектромеханического акселерометра.Актуальность работы обусловлена стремительно развивающимся рынком миниатюрных датчиков, в частности устройств, предназначенных для «интернета вещей» IoT. Разработка велась исходя из технологических возможностей Российского производства.В ходе работы проведено математическое моделирование и моделирование методом конечных элементов. В предлагаемой конструкции измерения ускорения выполняются по всем трем осям одновременно с использованием системы из подвижной массы, упругого подвеса и электродной структуры типа «gap-closing». Результатом явилась структура чувствительного элемента удовлетворяющая заявленным техническим требованиям.

This work is devoted to the development of a sensing element of a three-axis capacitive microelectromechanical accelerometer.The relevance of the work is due to the rapidly developing market of miniature sensors, in particular devices designed for the "Internet of things", IoT. The development was carried out based on the technological capabilities of Russian manufacture.In the course of the work, mathematical modeling and modeling by the finite element method were carried out. In the proposed design, acceleration measurements are performed on all three axes simultaneously using a system of moving mass, elastic suspension and an electrode structure of the "gap-closing" type. The result was the structure of the sensing element satisfying the stated technical requirements.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Внешние организации №2 Все Прочитать
Внешние организации №1 Все
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи (не СПбПУ, №2) Прочитать
Интернет Авторизованные пользователи (не СПбПУ, №1)
-> Интернет Анонимные пользователи

Статистика использования

stat Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика