Details

Title: Разработка чувствительного элемента МЭМС-акселерометра: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Наноэлектроника и микроэлектромеханические системы»
Creators: Косых Игорь Олегович
Scientific adviser: Лобода Вера Владимировна
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Imprint: Санкт-Петербург, 2022
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: МЭМС; емкостной; акселерометр; трехосевой; КНИ; gap-closing; MEMS; capacitive; accelerometer; three-axis; SOI
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 11.04.04
Speciality group (FGOS): 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI: 10.18720/SPBPU/3/2022/vr/vr22-3768
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Additionally: New arrival
Record key: ru\spstu\vkr\18124

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Данная работа посвящена разработке чувствительного элемента трехосевого емкостного микроэлектромеханического акселерометра.Актуальность работы обусловлена стремительно развивающимся рынком миниатюрных датчиков, в частности устройств, предназначенных для «интернета вещей» IoT. Разработка велась исходя из технологических возможностей Российского производства.В ходе работы проведено математическое моделирование и моделирование методом конечных элементов. В предлагаемой конструкции измерения ускорения выполняются по всем трем осям одновременно с использованием системы из подвижной массы, упругого подвеса и электродной структуры типа «gap-closing». Результатом явилась структура чувствительного элемента удовлетворяющая заявленным техническим требованиям.

This work is devoted to the development of a sensing element of a three-axis capacitive microelectromechanical accelerometer.The relevance of the work is due to the rapidly developing market of miniature sensors, in particular devices designed for the "Internet of things", IoT. The development was carried out based on the technological capabilities of Russian manufacture.In the course of the work, mathematical modeling and modeling by the finite element method were carried out. In the proposed design, acceleration measurements are performed on all three axes simultaneously using a system of moving mass, elastic suspension and an electrode structure of the "gap-closing" type. The result was the structure of the sensing element satisfying the stated technical requirements.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
External organizations N2 All Read
External organizations N1 All
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
Internet Authorized users (not from SPbPU, N2) Read
Internet Authorized users (not from SPbPU, N1)
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics