Данная работа посвящена разработке чувствительного элемента трехосевого емкостного микроэлектромеханического акселерометра. Актуальность работы обусловлена стремительно развивающимся рынком миниатюрных датчиков, в частности устройств, предназначенных для «интернета вещей» IoT. Разработка велась исходя из технологических возможностей Российского производства. В ходе работы проведено математическое моделирование и моделирование методом конечных элементов. В предлагаемой конструкции измерения ускорения выполняются по всем трем осям одновременно с использованием системы из подвижной массы, упругого подвеса и электродной структуры типа «gap-closing». Результатом явилась структура чувствительного элемента удовлетворяющая заявленным техническим требованиям.

This work is devoted to the development of a sensing element of a three-axis capacitive microelectromechanical accelerometer. The relevance of the work is due to the rapidly developing market of miniature sensors, in particular devices designed for the "Internet of things", IoT. The development was carried out based on the technological capabilities of Russian manufacture.In the course of the work, mathematical modeling and modeling by the finite element method were carried out. In the proposed design, acceleration measurements are performed on all three axes simultaneously using a system of moving mass, elastic suspension and an electrode structure of the "gap-closing" type. The result was the structure of the sensing element satisfying the stated technical requirements.