Details

Объектом исследования работы является транзисторный источник питания для ВЧИ-плазмотрона с аргоном в качестве плазмообразующего газа. Цель работы – разработка транзисторного (твердотельного) источника питания с номинальной мощностью 30 кВт и частотой 440 кГц для работы ВЧИ плазмотрона в модулированном режиме, т.е. чтобы амплитудные значения напряжения индуктора (а значит, тока индуктора и выделяемой в плазме мощности) изменялись по некоторому низкочастотному закону. В процессе работы была разработана схема ВЧИ-плазматрона в COMSOL Multiphysics для получения эквивалентных параметров активного и индуктивного сопротивления индуктора с плазмой, т.е. нагрузки, которые необходимо знать для разработки источника питания, а также модель установки в программной среде Matlab Simulink. Удалось достичь мощности, изменяющейся в период модуляции (1000 периодов) на основной частоте (440 кГц), 30 кВт в течение 40% периода модуляции, а 10 кВт – 60% периода. После переходного процесса модель продемонстрировала свою устойчивость на продолжительном промежутке времени, не наблюдалось критических скачков напряжения и тока, справляющейся с модулированным режимом работы. Благодаря проделанной работе можно уверенно заявить, что данная установка будет эффективно использоваться в качестве источника питания индукционных плазмотронов для модулированного режима работы, что является очень многообещающим, поскольку позволяет управлять выделяемой в плазме мощностью, а значит, и ее температурой, и степенью ее ионизационной и химической неравновесности. Это может быть востребовано в различных плазмохимических технологиях.

The object of research is a transistor power supply for an RFI plasma torch with argon as a plasma gas. The purpose of the work is to develop a transistor (solid-state) power supply with a rated power of 30 kW and a frequency of 440 kHz for the operation of an RFI plasma torch in a modulated operation mode, i.e. so that the amplitude values of the inductor voltage (and hence, the inductor current and the power released in the plasma) changed according to some low-frequency law. In the process of work, a circuit of an RFI-plasmatron was developed in COMSOL Multiphysics to obtain equivalent parameters of active and inductive resistance of an inductor with plasma, i.e. loads to be aware for the development of a power supply, as well as an installation model in the Matlab Simulink software environment. It was possible to achieve a power that varies during the modulation period (1000 periods) at the fundamental frequency (440 kHz), 30 kW behind 40% of the modulation period, and 10 kW behind 60% of the period. After the transient, the model demonstrated its stability over a long period of time no critical voltage and current surges were observed, coping with modulated operation. Thanks to the work done, it can be confidently stated that this installation will be effectively used as a power source for induction plasma torches for modulated operation, which is promising, since it allows you to control the power released in the plasma, and hence its temperature, and the degree for its ionization and chemical disequilibrium. This may be in demand in various plasma-chemical technologies.