Данная работа посвящена обзору тензорезисторных и емкостных датчиков силы, исследованию влияния температуры на их работу, а также разработке методики уменьшения влияния температуры. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Анализ тензорезисторных и емкостных датчиков силы и принцип их работы. 2. Исследование влияния температуры на работу тензорезисторных датчиков силы. 3. Исследование влияния температуры на работу емкостных датчиков силы. 4. Составление методики уменьшения влияния температуры на датчики силы. Был выполнен обзор датчиков силы с различными упругими элементами и поэтапно разобран принцип работы тензорезисторных и емкостных датчиков силы. Было проведено исследование, показывающее каким образом воздействие температуры влияет на каждый этап работы тензорезисторных и емкостных датчиков силы. В результате исследования влияния температуры, проведены расчёты температурной погрешности. Сформированы методические указания по уменьшению влияния температуры на работу датчиков силы.

This work is devoted to a review of strain-resistive and capacitive force sensors, to the study of the effect of temperature on their operation, as well as to the development of a technique for reducing the effect of temperature. Tasks that were solved in the course of the study: 1. Analysis of strain-resistive and capacitive force sensors and the principle of their operation. 2. Study of the effect of temperature on the operation of strain gauge force sensors. 3. Study of the effect of temperature on the operation of capacitive force sensors. 4. Drawing up a methodology for reducing the effect of temperature on the operation of force sensors. A review of force sensors with various elastic elements was made and the principle of operation of strain-resistive and capacitive force sensors was disassembled in stages. A study has been carried out showing how the effect of temperature affects each step of the operation of strain gauge and capacitive force sensors. As a result of the study of the influence of temperature, calculations of the temperature error were carried out. Guidelines have been formulated to reduce the effect of temperature on the operation of force sensors.