Объект исследования: емкостной МЭМС микрофон. Предмет исследования: диапазон низких частот. Цель работы: разработка чувствительного элемента емкостного низкочастотного МЭМС-микрофона медицинского применения. Большинство МЭМС микрофонов способны качественно обработать сигнал в звуковом диапазоне частот (20-20000 Гц), что не подходит для медицинского применения. Поэтому разработка низкочастотного МЭМС микрофона, который будет работать в диапазоне низких частот (0,5-20 Гц), является актуальной задачей. В результате выпускной квалификационной работы был разработан ЧЭ емкостного герметичного МЭМС микрофона, оптимизированы параметры мембраны, улучшены электрические характеристики.

Object of study: capacitive MEMS microphone. Subject of study: low frequency range. Purpose of work: development of a sensitive element of a capacitive low-frequency MEMS microphone for medical purposes. Most MEMS microphones are capable of high-quality signal processing in the audio frequency range (20-20000 Hz), which is not suitable for medical applications. Therefore, the development of a low-frequency MEMS microphone, which will have good electrical characteristics in the low-frequency range (0,5–20 Hz), is an urgent task. As a result of the final qualifying work, the sensitive element of a capacitive sealed MEMS microphone was developed, the membrane parameters were optimized, and the electrical characteristics were improved.