Саламатова, Ульяна Вячеславовна. Разработка чувствительного элемента МЭМС-микрофона медицинского применения: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Наноэлектроника и микроэлектромеханические системы» = Development of a sensitive element for a capacitive MEMS microphone for medical application / У. В. Саламатова; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт электроники и телекоммуникаций; научный руководитель В. В. Лобода. — Санкт-Петербург, 2022. — 1 файл (1,3 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2023/vr/vr23-357.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-357. — Текст