Васильчук, Дмитрий Дмитриевич. — Применение технологии магнетронного распыления для нанесения функциональных слоев: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники» = Application of magnetron sputtering technology for deposition of functional layers / Д. Д. Васильчук; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Е. В. Афанасьева. — Санкт-Петербург, 2023. — 1 файл (1,4 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2023/vr/vr23-4334.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4334. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Год 2023 | 2 | 0 | 0 | 0 | 2 |
| Год 2024 | 3 | 0 | 0 | 0 | 3 |
| Всего | 5 | 0 | 0 | 0 | 5 |