Тема выпускной квалификационной работы: «Разработка системы автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления». В данной работе был разработан подход к автоматизированному поиску параметров роста покрытий оксид индий-олова (ITO) на установке магнетронного с применением методов Байесовской оптимизации. Разработан комплекс программ для удобного использования модели машинного обучения обычными инженерами. Разработана и создана установка реактивного магнетронного распыления, позволяющая напылять пленки ITO. Проведены серии экспериментов, подтверждающие применимость данного подхода к оптимизированному росту покрытий. Целью работы являлась разработка систему автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления.

The topic of the master’s thesis: "Development of a system for automated search for growth parameters of ITO coatings on a magnetron sputtering installation". In this paper, an approach was developed to the automated search for the growth parameters of indium tin oxide (ITO) coatings on a magnetron installation using Bayesian optimization methods. The programs have been developed for convenient use of the machine learning model by ordinary engineers. A reactive magnetron sputtering unit has been developed and created, which allows ITO films to be sprayed. A series of experiments have been carried out confirming the applicability of this approach to optimized coating growth. The aim of the work was to develop a system for automated search for growth parameters of ITO coatings on a magnetron sputtering unit.

• 8a574e219aa9444b4ba9fdf84193e197df5fa7e5d1ce0ff9517ea232db3616d7.pdf
• Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
• 8a574e219aa9444b4ba9fdf84193e197df5fa7e5d1ce0ff9517ea232db3616d7.pdf