Details
| Title | Разработка системы автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления: выпускная квалификационная работа магистра: направление 15.04.06 «Мехатроника и робототехника» ; образовательная программа 15.04.06_04 «Робототехника» |
|---|---|
| Creators | Белянов Илья Андреевич |
| Scientific adviser | Бахшиев Александр Валерьевич |
| Other creators | Чупров Сергей Геннадьевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2023 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | оксид индия-олова ; магнетронное распыление ; микросистемная техника ; машинное обучение ; Байесовская оптимизация ; indium tin oxide ; magnetron sputtering ; microsystem technology ; machine learning ; Bayesian optimization |
| Document type | Master graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Master |
| Speciality code (FGOS) | 15.04.06 |
| Speciality group (FGOS) | 150000 - Машиностроение |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-5662 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) |
| Record key | ru\spstu\vkr\25438 |
| Record create date | 8/8/2023 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Тема выпускной квалификационной работы: «Разработка системы автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления». В данной работе был разработан подход к автоматизированному поиску параметров роста покрытий оксид индий-олова (ITO) на установке магнетронного с применением методов Байесовской оптимизации. Разработан комплекс программ для удобного использования модели машинного обучения обычными инженерами. Разработана и создана установка реактивного магнетронного распыления, позволяющая напылять пленки ITO. Проведены серии экспериментов, подтверждающие применимость данного подхода к оптимизированному росту покрытий. Целью работы являлась разработка систему автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления.
The topic of the master’s thesis: "Development of a system for automated search for growth parameters of ITO coatings on a magnetron sputtering installation". In this paper, an approach was developed to the automated search for the growth parameters of indium tin oxide (ITO) coatings on a magnetron installation using Bayesian optimization methods. The programs have been developed for convenient use of the machine learning model by ordinary engineers. A reactive magnetron sputtering unit has been developed and created, which allows ITO films to be sprayed. A series of experiments have been carried out confirming the applicability of this approach to optimized coating growth. The aim of the work was to develop a system for automated search for growth parameters of ITO coatings on a magnetron sputtering unit.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
- 8a574e219aa9444b4ba9fdf84193e197df5fa7e5d1ce0ff9517ea232db3616d7.pdf
- Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
- 8a574e219aa9444b4ba9fdf84193e197df5fa7e5d1ce0ff9517ea232db3616d7.pdf
Access count: 3
Last 30 days: 0
