Electronic Documents Search
Documents found: 11
-
Creators Дмитриев А. А.; Коршунов Андрей Васильевич Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная конференция. Неделя науки (31; 2002; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб., 2004 Collection Общая коллекция Subjects микросистемная техника; микрообъект; фотоситалл; процесс травления Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 337 Kb -
Creators Эннс Яков Борисович Scientific adviser Пятышев Евгений Нилович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника UDC 531.36; 539.216.2 Document type Scientific report File type PDF Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 11.06.01 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи DOI 10.18720/SPBPU/2/va19-5 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 3.0 Mb -
Creators Спешилова Анастасия Борисовна Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Фотолитография; Плазменная обработка; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы; микросистемная техника UDC 539.216.2(043.3); 621.794.6(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-17 Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение) pdf, 0.7 Mb -
Creators Крепкая Татьяна Николаевна; Шередекина Оксана Анатольевна; Иванова Виктория Александровна; Медведева Олеся Дмитриевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Материаловедение; Наноструктурные материалы; Металлургия; английский язык; микросистемная техника; учебники и пособия для вузов UDC 620.22(075.8); 669(075.8) LBC 81.432.1я73 Document type Tutorial File type PDF Language Russian; English DOI 10.18720/SPBPU/2/s20-8 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 9.1 Mb -
Creators Эннс Яков Борисович Scientific adviser Пятышев Евгений Нилович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника UDC 531.36(043.3); 539.216.2(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-20 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.9 Mb -
Creators Дмитриев А. А.; Акульшин Юрий Дмитриевич Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (32; 2003; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint Санкт-Петербург, 2004 Collection Общая коллекция Subjects микросистемная техника; турбокомпрессоры; микрореактивные двигатели Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 85 Kb -
Creators Белянов Илья Андреевич Scientific adviser Бахшиев Александр Валерьевич Other creators Чупров Сергей Геннадьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects оксид индия-олова; магнетронное распыление; микросистемная техника; машинное обучение; Байесовская оптимизация; indium tin oxide; magnetron sputtering; microsystem technology; machine learning; Bayesian optimization Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 15.04.06 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-5662 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 1.6 Mb -
Технология микросистемной техники: учебное пособие. 1
Creators Нарайкин О. С.; Холевин В. В.; Данилов И. И.; Шалаев В. А. Organization Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана Imprint Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010 Collection ЭБС "Университетская библиотека ONLINE"; Общая коллекция Subjects Приборостроение; микросистемная техника; микрообработка UDC 681.2(075.8) Document type Tutorial File type Other Language Russian Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=257047 -
Creators Шинтяпин Р. В.; Стрижак Леонид Яковлевич Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург); Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint Санкт-Петербург, 2002 Collection Общая коллекция Subjects микроэлектроника; микротехнологии; микросистемная техника; компрессоры UDC 621.515.001 Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 195 Kb -
Creators Дмитриев А. А.; Коршунов Андрей Васильевич Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург); Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint Санкт-Петербург, 2002 Collection Общая коллекция Subjects микросистемная техника; микротехнологии; газовые электромагнитные форсунки; микроэлектроника; микромеханика UDC 621.515.001 Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 188 Kb
