Details
| Title | Технология микросистемной техники: учебное пособие. 1 |
|---|---|
| Creators | Нарайкин О. С.; Холевин В. В.; Данилов И. И.; Шалаев В. А. |
| Organization | Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана |
| Imprint | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010 |
| Collection | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE"; Общая коллекция |
| Subjects | Приборостроение; микросистемная техника; микрообработка |
| UDC | 681.2(075.8) |
| Document type | Tutorial |
| File type | Other |
| Language | Russian |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Record key | BIBLIOCLUB\0000257047 |
| Record create date | 10/24/2021 |
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.
Access count: 19
Last 30 days: 1
