Детальная информация
| Название | Технология микросистемной техники: учебное пособие. 1 |
|---|---|
| Авторы | Нарайкин О. С. ; Холевин В. В. ; Данилов И. И. ; Шалаев В. А. |
| Выходные сведения | Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010 |
| Коллекция | ЭБС "Университетская библиотека ONLINE" ; Общая коллекция |
| УДК | 621.38 |
| ББК | 32.85 |
| Тип документа | Другой |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | BIBLIOCLUB\0000257047 |
| Дата создания записи | 23.06.2025 |
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.
Количество обращений: 58
За последние 30 дней: 9
