Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: Посмотреть |
Аннотация
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.
Статистика использования
Количество обращений: 17
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |