Данная работа посвящена разработке технологии изготовления внеплоскостных газонаполненных ячеек с парами щелочных металлов, с применением групповой технологии термообработки стекла. В ходе выполнения работы был проведён обзор литературы по современным способам изготовления газонаполненных ячеек. На его основании была проведена разработка групповой технологии формообразования сферических полостей по модифицированной технологии выдувания стекла. Также было выполнено аналитическое и численное моделирование вязкоупругой деформации стекла. Результаты моделирования были проверены опытным путём с использованием экспериментального моделирования процесса деформации стекла на тестовых образцах. Деформация стекла измерялась профилометром AmbiosXP-1. Толщина стекла определялась по изображению скола стекла, полученного в РЭМ. На основании проделанных исследований был разработана технология изготовления внеплоскостных газонаполненных ячеек, которые могут быть использованы в приборах квантовых стандартов частоты. Результаты моделирования показали хорошую сходимость. На собранной установке была проверена работоспособность изготовленных образцов, где в ячейки были зафиксированы линии поглощения Cs-133. На основании проделанных исследований был разработана технология изготовления внеплоскостных газонаполненных ячеек, которые могут быть использованы в приборах квантовых стандартов частоты. В ходе выполнения работы применялось специализированное программно-математическое обеспечение: OriginPro, COMSOL Multiphysics, а также прикладные программные средства: AutoCAD.

This work is devoted to the development of technology for the manufacture of glassblowing vapor cells with alkali metal vapors, using group glass heat treatment technology. In the course of the work, a review of the literature on modern methods of manufacturing glassblowing vapor cells was carried out. Based on it, the development of a group technology for forming spherical cavities using a modified glass blowing technology was carried out. Analytical and numerical modeling of viscoelastic deformation of glass was also performed. The simulation results were tested experimentally using experimental modeling of the glass deformation process on test samples. The deformation of the glass was measured by the AmbiosXP-1 profilometer. The thickness of the glass was determined by the image of the glass chip obtained in the SEM. Based on the research done, a technology for manufacturing glassblowing vapor cells has been developed, which can be used in devices of quantum frequency standards. The simulation results showed good convergence. The operability of the manufactured samples was tested on the assembled installation, where Cs-133 absorption lines were recorded in the cells. Based on the research done, a technology for manufacturing glassblowing vapor cells has been developed, which can be used in devices of quantum frequency standards. In the course of the work, specialized software and mathematical software was used: OriginPro, COMSOL Multiphysics, as well as applied software tools: AutoCAD.