Фёдоров, Никита Александрович. Моделирование чувствительного элемента МЭМС-акселерометра: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_03 «Интегральная электроника и наноэлектроника» = Modelling of MEMS accelerometer sensing element / Н. А. Фёдоров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт электроники и телекоммуникаций; научный руководитель Н. Т. Сударь; научный руководитель Д. И. Долженко. — Санкт-Петербург, 2024. — 1 файл (1,4 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2024/vr/vr24-3136.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2024/vr/vr24-3136. — Текст: электронный