Данная работа посвящена исследованию влияния ростовых параметров на концентрацию кислорода в кристалле в тигле установки метода Чохральского при выращивании кристаллов кремния в магнитном поле CUSP. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Постановка осесимметричной задачи; 2. Исследование сеточной чувствительности; 3. Проведение параметрических расчетов, а именно: a. Вычисления при разной интенсивности магнитного поля; b. Расчеты с варьированием положения нулевой плоскости поля; c. Расчеты для различной высоты расплава. Работа проведена с применением вычислительных средств и ресурсов компании ООО «Софт-Импакт». В результате были получены данные о влиянии ростовых параметров на характеристики тепломассообмена, а именно: 1. Смещение положения нулевой плоскости поля вверх относительно свободной поверхности, приводит к уменьшению массовой доли кислорода в кристалле; 2. Увеличение величины индукции магнитного поля также приводит к уменьшению массовой доли кислорода; 3. Изменение высоты расплава не приводит к значительному изменению массовой доли кислорода.

The thesis speaks about investigation of the growth parameters effect on oxygen concentration in the crystal in relation to Czochralski crystal growth under CUSP magnetic field. The research set the following goals: 1. Setting an axisymmetric problem 2. Investigation of grid sensitivity 3. Conduct parametric calculations, specifically: a. Calculations for different magnetic field strengths; b. Calculations with varying the zero Tesla plane; c. Calculations for different melt heights. The work was carried out with use of computing facilities and resources of «Soft-Impact». As a result, we obtained data on the effect of growth parameters on the characteristics of heat and mass transfer. Specifically, we found that: 1. A displacement of the zero Tesla plane upwards relative to the free surface leads to a decrease in the oxygen mass fraction in the crystal. 2. An increase in magnetic field induction also leads to a decrease in oxygen mass fraction. 3. Changes in melt height do not significantly affect the oxygen mass fraction.