Details

В рамках работы реализована физико-математическая модель, описывающая влияние шумовых механизмов и добротности интерферометра Фабри-Перо на разрешающую способность измерения его базы. Модель позволяет выбрать оптимальные коэффициенты отражений зеркал Фабри-Перо для заданных параметров опросной аппаратуры и величины базы интерферометра. При помощи данной модели показано, как зависит выбор оптимальных зеркал от соотношения вкладов шума интенсивности широкополосного источника излучения и шума спектрометра в регистрируемую спектральную передаточную функцию интерферометра. Зависимость выигрыша в разрешающей способности при увеличении коэффициентов отражения зеркал от соотношения вклада шумовых механизмов подтверждена экспериментально. Продемонстрирован выигрыша в разрешающей способности до 12 раз при использовании пары зеркал 26.5%-81%. При этом достигнута разрешающая способность измерения базы интерферометра порядка 25 пм для величины базы в 15-500 мкм и пары зеркал 3.5%-81%. Областью применения результатов работы будет практическое использование при проектировании датчиков на основе интерферометра Фабри-Перо в задачах, требующей высокой разрешающей способности измерения микроперемещений.

Within the framework of the work, a physical and mathematical model is implemented describing the influence of noise mechanisms and the quality factor of the Fabry-Perot interferometer on the measurement resolution of its base. The model allows you to select the optimal reflection coefficients of Fabry-Perot mirrors for the specified parameters of the survey equipment and the value of the interferometer base. Using this model, it is shown how the choice of optimal mirrors depends on the ratio of the noise contributions of the intensity of the broadband radiation source and the noise of the spectrometer to the recorded spectral transfer function of the interferometer. The dependence of the gain in resolution with an increase in the reflection coefficients of mirrors on the ratio of the contribution of noise mechanisms has been confirmed experimentally. A gain in resolution of up to 12 times was demonstrated when using a pair of mirrors of 26.5%-81%. At the same time, the measurement resolution of the interferometer base of the order of 25 pm was achieved for a base value of 15-500 microns and a pair of mirrors of 3.5%-81%. The scope of application of the results of the work will be practical use in the design of sensors based on the Fabry-Perot interferometer in tasks requiring high resolution measurement of micro-displacements.