Детальная информация
| Название | Разработка чувствительного элемента МЭМС-пьезорезистивного датчика давления: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Наноэлектроника и микроэлектромеханические системы» = Development of a sensitive element of the mems piezoresistive pressure sensor |
|---|---|
| Авторы | Полеева Галина Александровна |
| Научный руководитель | Лобода Вера Владимировна |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2024 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тематика | Датчики давления ; пьезорезистивность ; микроэлектромеханические датчики ; измерение давления ; чувствительность ; нелинейность ; piezoresistivity ; microelectromechanical sensors ; pressure measurement ; sensitivity ; nonlinearity |
| УДК | 681.586'326 |
| Тип документа | Выпускная квалификационная работа магистра |
| Язык | Русский |
| Уровень высшего образования | Магистратура |
| Код специальности ФГОС | 11.04.04 |
| Группа специальностей ФГОС | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2024/vr/vr24-4217 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | ru\spstu\vkr\31209 |
| Дата создания записи | 06.08.2024 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
В данной работе рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена модель чувствительного элемента в программном пакете COMSOL и рассчитаны выходные характеристики. Разработан технологический маршрут изготовления чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления.
The subject of the graduate qualification work is development of a sensitive element of the mems piezoresistive pressure sensor. The aim is to develop a sensitive element of the MEMS piezoresistive pressure sensor, to develop a technological manufacturing route. In this paper, the principles of operation of MEMS piezoresistive pressure sensors are considered. A review of the literature on the topic has been conducted and methods for improving the output characteristics of sensors, especially sensitivity and linearity, have been analyzed. A model of the sensor element in the COMSOL software package is constructed and the output characteristics are calculated. A technological route for manufacturing a sensitive element of a piezoresistive MEMS pressure sensor has been developed.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
