Детальная информация

В данной работе рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена модель чувствительного элемента в программном пакете COMSOL и рассчитаны выходные характеристики. Разработан технологический маршрут изготовления чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления.

The subject of the graduate qualification work is development of a sensitive element of the mems piezoresistive pressure sensor. The aim is to develop a sensitive element of the MEMS piezoresistive pressure sensor, to develop a technological manufacturing route. In this paper, the principles of operation of MEMS piezoresistive pressure sensors are considered. A review of the literature on the topic has been conducted and methods for improving the output characteristics of sensors, especially sensitivity and linearity, have been analyzed. A model of the sensor element in the COMSOL software package is constructed and the output characteristics are calculated. A technological route for manufacturing a sensitive element of a piezoresistive MEMS pressure sensor has been developed.