Details
| Title | Разработка чувствительного элемента МЭМС-пьезорезистивного датчика давления: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Наноэлектроника и микроэлектромеханические системы» = Development of a sensitive element of the mems piezoresistive pressure sensor |
|---|---|
| Creators | Полеева Галина Александровна |
| Scientific adviser | Лобода Вера Владимировна |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2024 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | Датчики давления ; пьезорезистивность ; микроэлектромеханические датчики ; измерение давления ; чувствительность ; нелинейность ; piezoresistivity ; microelectromechanical sensors ; pressure measurement ; sensitivity ; nonlinearity |
| UDC | 681.586'326 |
| Document type | Master graduation qualification work |
| Language | Russian |
| Level of education | Master |
| Speciality code (FGOS) | 11.04.04 |
| Speciality group (FGOS) | 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2024/vr/vr24-4217 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | ru\spstu\vkr\31209 |
| Record create date | 8/6/2024 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
В данной работе рассмотрены принципы работы МЭМС пьезорезистивных датчиков давления. Проведен обзор литературы по теме и разобраны методы улучшения выходных характеристик датчиков, в особенности, чувствительности и линейности. Построена модель чувствительного элемента в программном пакете COMSOL и рассчитаны выходные характеристики. Разработан технологический маршрут изготовления чувствительного элемента пьезорезистивного МЭМС-датчика давления.
The subject of the graduate qualification work is development of a sensitive element of the mems piezoresistive pressure sensor. The aim is to develop a sensitive element of the MEMS piezoresistive pressure sensor, to develop a technological manufacturing route. In this paper, the principles of operation of MEMS piezoresistive pressure sensors are considered. A review of the literature on the topic has been conducted and methods for improving the output characteristics of sensors, especially sensitivity and linearity, have been analyzed. A model of the sensor element in the COMSOL software package is constructed and the output characteristics are calculated. A technological route for manufacturing a sensitive element of a piezoresistive MEMS pressure sensor has been developed.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
