Details

В работе рассматриваются различные варианты чувствительных элементов для МЭМС акселерометров. С помощью нескольких конечно-элементных расчетов в программном пакете Matlab реализован метод синтеза моделей пониженного порядка, который позволяет строить модели, использующие при анализе редуцированные матрицы и собственные вектора. Описанный метод применим для различных структур датчиков для частотного анализа. Продемонстрирован способ построения моделей по методу пониженного порядка. На примере выбранной архитектуры резонансного акселерометра проверена сходимость с результатами КЭ расчета, полученными с помощью Ansys APDL.

In this paper, different variants of sensing elements for MEMS accelerometers are considered. With the help of several finite element calculations in the Matlab software package, a method of reduced-order model synthesis is implemented, which allows building models that use reduced matrices and eigenvectors in the analysis. The described method is applicable to various sensor structures for frequency analysis. The method of building models using the reduced order method is demonstrated. The convergence with the results of FE calculation obtained with Ansys APDL is verified on the example of the selected resonant accelerometer architecture.