Details

Данная работа посвящена проектированию высокочастотного источника питания и его исследованию в разных режимах работы, которое позволит оценить его рабочие показатели для применения в плазменных технологиях. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Изучение высокочастотных плазменных технологий получения нанопорошков. 2. Разработка конструкции ВЧИ-плазмотрона, а также моделирование плазменных процессов в нем. 3. Проектирование высокочастотного источника питания в программе MATLAB Simulink для питания ВЧИ плазмотрона. 4. Проведение серии расчетов в одноконтурном и трехконтурном режимах работы лампового генератора, анализ полученных данных. В результате был проведен анализ существующих высокочастотных плазменных технологий, применяемых источников питания в промышленности. Разработана модель высокочастотного индукционного плазмотрона и проведены численные исследования в программе COMSOL Multiphysics. Получена модель лампового генератора с требуемой мощностью для питания ВЧИ плазмотрона. Генераторная лампа показала устойчивую работу и может быть применена как источник питания для высокочастотных плазменных технологий получения нанопорошков.

This work is devoted to the design of a high-frequency power supply and its study in different operating modes, which will allow us to evaluate its performance indicators for use in plasma technologies. Problems that were solved during the study: 1.Study of high-frequency plasma technologies for producing nanopowders. 2. Development of the design of a high power ICP Torch, as well as modeling of plasma processes in it. 3. Design of a high-frequency power source in the MATLAB Simulink program for powering the high power ICP Torch. 4. Carrying out a series of calculations in single-circuit and three-circuit operating modes of the lamp generator, analysis of the data obtained. As a result, an analysis of existing high-frequency plasma technologies and power supplies used in industry was carried out. A model of a high-frequency ICP Torch was developed, and numerical studies were carried out in the COMSOL Multiphysics program. A model of a tube generator with the required power to power the high power ICP Torch. The generator triode has demonstrated stable operation and can be used as a power source for high-frequency plasma technologies for producing nanopowders.