Details

Данная работа посвящена исследованию процесса формирования микролинз с использованием фемтосекундной лазерной абляции. Для этого модифицирована программа управления транслятором с образцами добавлением остановки в моменты облучения. Сделано синхронно с остановкой транслятора включение лазерного излучения. Проведено облучение различны стёкол, подобраны амплитуды воздействия и выбрано расстояние между элементами. Исследованы результаты воздействия на конфокальном микроскопе. Рассчитаны параметры микролинз. Полученные результаты могут быть использованы для дальнейшей оптимизации технологии и разработки микрооптических элементов в областях фотоники, сенсорики и микроэлектроники.

This work is devoted to the study of the process of microlens formation us-ing femtosecond laser ablation. For this purpose, the program for controlling the translator with samples was modified by adding a stop at the moments of irradia-tion. The laser radiation was switched on synchronously with the translator stop. Various glasses were irradiated; the amplitudes of the impact were selected and the distance between the elements was chosen. The results of the impact on a confocal microscope were studied. The parameters of the microlenses were calculated. The obtained results can be used for further optimization of technology and develop-ment of micro-optical elements in the fields of photonics, sensors and microelec-tronics.