Details

В данной работе была рассмотрена подготовка оборудования и методик для получения массивов углеродных нанотрубок. Для оптимизации данной технологии были проведены серии экспериментов. Рассмотрено влияние толщины катализатора из оксида никеля, полученного при помощи бис(этилциклопентадиенил) никель методом атомно-слоевого осаждения, на рост массивов углеродных нанотрубок, получаемых методом плазмохимического осаждения из газовой фазы на разряде постоянного тока. Помимо этого, исследовалось влияние цементации катализатора на характеристики получаемых углеродных нанотрубок. В ходе экспериментальной работы было выявлено положительное влияние цементации на высоту и плотность массивов углеродных нанотрубок, зависимость высоты и плотности получаемых массивов углеродных нанотрубок от толщины каталитического слоя.

This work examined the preparation of equipment and methodologies for synthesizing carbon nanotube arrays. To optimize this technology, a series of experiments were conducted. The study investigated the influence of nickel oxide catalyst thickness - deposited using bis(ethylcyclopentadienyl)nickel via atomic layer deposition - on the growth of carbon nanotube arrays produced by plasma-enhanced chemical vapor deposition using direct current discharge. Additionally, the effect of cementation on the characteristics of the resulting CNTs was studied. The experimental work revealed that cementation positively affects both the height and density of carbon nanotube arrays, while also demonstrating the dependence of array height and density on the thickness of the catalytic layer.