Глушец, Екатерина Юрьевна. Создание безлитографических металлических масок для химического травления: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники» = Fabrication of non-lithographic metal masks for chemical etching / Е. Ю. Глушец; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2025. — 1 файл (2,1 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2025/vr/vr25-2939.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2025/vr/vr25-2939. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Всего | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||