Details
| Title | Атомно-слоевое осаждение оксида вольфрама: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники» |
|---|---|
| Creators | Горбов Иван Андреевич |
| Scientific adviser | Филатов Леонид Анатольевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2025 |
| Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Subjects | оксид вольфрама ; атомно-слоевое осаждение ; электрохромные материалы ; tungsten oxide ; atomic-layer deposition ; electrochromic materials |
| Document type | Master graduation qualification work |
| File type | |
| Language | Russian |
| Level of education | Master |
| Speciality code (FGOS) | 22.04.01 |
| Speciality group (FGOS) | 220000 - Технологии материалов |
| DOI | 10.18720/SPBPU/3/2025/vr/vr25-3770 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | ru\spstu\vkr\37714 |
| Record create date | 9/23/2025 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Работа посвящена изучению кинетики атомно-слоевого осаждения покрытий оксида вольфрама в системах реагентов WH2Cp2-O3 и W(CO)6-активированный плазмой кислород. В ходе проведения серий экспериментов были получены зависимости скорости роста покрытия от температуры, времени напуска первого реагента и числа циклов осаждения. Изучен химический состав и ряд физических и прикладных свойств покрытий оксида вольфрама в зависимости от условий их получения.
The work is devoted to the study of the kinetics of atomic layer deposition of tungsten oxide coatings in WH2Cp2-O3 and W(CO)6-activated plasma oxygen reagent systems. During a series of experiments, the dependence of the coating growth rate on temperature, the time of the first reagent introduction, and the number of deposition cycles was obtained. The chemical composition and a number of physical and applied properties of tungsten oxide coatings were studied depending on the conditions of their production.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 0
Last 30 days: 0
