Details

Работа посвящена исследованию динамики многомассового микрорезонатора. Разработана математическая модель системы упругих балок с учетом электрического поля и параметрических неоднородностей. Основные результаты: • Определены собственные частоты и формы колебаний, показано влияние неоднородностей на перекос форм; • Исследована устойчивость положений равновесия, выявлены критические параметры; • Разработана схема с автоколебаниями и биениями; • Установлена зависимость частоты биений от механической нагрузки. Результаты могут применяться при создании высокочувствительных микромеханических датчиков.

The work is devoted to study dynamics of a multimass microresonator. A mathematical model of elastic beams system considering electric field and parametric inhomogeneities was developed. Key results: • Natural frequencies and mode shapes were determined, inhomogeneity effects analyzed; • Equilibrium stability was investigated, critical parameters identified; • Self-oscillatory scheme with beatings was developed; • Beating frequency dependence on mechanical load was established. Results can be applied to design high-sensitivity microelectromechanical sensors.