Details

Работа посвящена исследованию сигнального МЭМС-датчика температуры и разработке чувствительного элемента МЭМС-датчика температуры. Цель работы – разработка комплексной модели чувствительного элемента МЭМС-датчика температуры. Для достижения поставленной цели решены следующие задачи: 1. Аналитический обзор литературы по видам и структурам МЭМС-датчиков температуры, определение актуальности научных исследований, анализ полученной информации; 2. Разработка модели чувствительного элемента датчика температуры; 3. Расчет характеристик чувствительного элемента датчика температуры. В результате исследования было проведено сравнение чувствительных элементов МЭМС-датчиков температуры, их параметров и выбор схемы для последующей реализации. В результате исследования был проведен обзор литературы по методам измерения температуры и чувствительных элементов МЭМС-датчиков температуры, была сформулирована задача моделирования чувствительного элемента температурного датчика. Было проведено моделирование схемы полученного чувствительного элемента, рассчитана температурная чувствительность чувствительного элемента. Для построения схемы чувствительного элемента МЭМС-датчика температуры, вывода результатов моделирования использовались средства автоматизированной разработки Matlab/Simulink.

Object of study is the signal MEMS temperature sensor and the sensitive element of the MEMS temperature sensor. The aim is development of a complex model of a sensitive element of the MEMS temperature sensor. The following tasks were solved: 1. Analytical review of the literature on the types and structures of MEMS temperature sensors, determination of the relevance of scientific research, analysis of the information received; 2. Development of a model of the sensing element of the temperature sensor; 3. Calculation of the characteristics of the sensing element of the temperature sensor. As a result of the study, a comparison of the sensitive elements of MEMS temperature sensors, their parameters and the choice of a scheme for subsequent implementation were carried out. As a result of the study, a literature review was conducted on methods for measuring temperature and sensitive elements of MEMS temperature sensors, and the task of modeling the sensitive element of a temperature sensor was formulated. The circuit of the resulting sensor element was modeled, and the temperature sensitivity of the sensor element was calculated. Simulink automated development tools were used to build a circuit of the sensitive element of the MEMS temperature sensor and output simulation results.