Детальная информация

Работа посвящена исследованию МЭМС-датчику температуре и разработке ёмкостной схема считывания. Цель работы – моделирование ёмкостной схемы считывания. Для достижения поставленной цели решены следующие задачи: 1. Анализ литературы на тему МЭМС-датчикам температуры, описание принципа действия, выбор чувствительного элемента; 2. Анализ литературы на тему схема детектирования сигнала, выбор схемы обработки, описание принципа действия; 3. Анализ метода ёмкостного съёма сигнала, схемотехническое решение;  4. Моделирование схемы выбранного метода в MATLAB, Multisim; 5. Анализ полученных результатов.  В результате исследования проанализирована литература по теме, сделана таблица рассмотренных датчиков температуры, выбрана и промоделированная ёмкостная схема считывания.  В результате исследования получена таблица датчиков температуры, схемотехническое решение ёмкостной схемы считывания с 𝑆𝑁𝑅 ≈ 40дБ, полученные результаты можно использовать дальше для применения при проектировании МЭМС-датчиков температуры.

Object of study is MEMS temperature sensor and developing capacitive circuit. The aim is to make a model capacitive detection circuit. The following tasks were solved: 1. Literature review on MEMS temperature sensors, description of operating principles, selection of a sensing element; 2. Literature review on signal detection circuits, selection of a signal processing scheme, description of operating principles; 3. Analysis of the capacitive signal pickup method, circuit design solution; 4. Simulation of the selected method’s circuit in MATLAB and Multisim; 5. Analysis of the obtained results. As a result of the study, literature on the topic has been analyzed, a table of reviewed temperature sensors has been created, and a capacitive readout circuit has been selected and simulated. As a result of the study, a table of temperature sensors has been obtained, along with a circuit design solution for a capacitive readout scheme with an 𝑆𝑁𝑅 ≈ 40 𝑑𝐵. The results can be further utilized in the design of MEMS temperature sensors.