Details

Title Ёмкостная схема считывания для МЭМС-датчика температуры: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.03.04_03 «Интегральная электроника и наноэлектроника»
Creators Семергей Александр Васильевич
Scientific adviser Лобода Вера Владимировна
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций
Imprint Санкт-Петербург, 2025
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects датчик температуры ; MEMS ; CMOS ; кантилевер ; ёмкостная схема детектирования ; MATLAB ; MUTISIM ; temperature sensor ; cantiliver ; capacitive detection circuit ; MULTISIM
Document type Bachelor graduation qualification work
File type PDF
Language Russian
Level of education Bachelor
Speciality code (FGOS) 11.03.04
Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI 10.18720/SPBPU/3/2025/vr/vr25-4566
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Additionally New arrival
Record key ru\spstu\vkr\36457
Record create date 8/8/2025

Allowed Actions

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Работа посвящена исследованию МЭМС-датчику температуре и разработке ёмкостной схема считывания. Цель работы – моделирование ёмкостной схемы считывания. Для достижения поставленной цели решены следующие задачи: 1. Анализ литературы на тему МЭМС-датчикам температуры, описание принципа действия, выбор чувствительного элемента; 2. Анализ литературы на тему схема детектирования сигнала, выбор схемы обработки, описание принципа действия; 3. Анализ метода ёмкостного съёма сигнала, схемотехническое решение;  4. Моделирование схемы выбранного метода в MATLAB, Multisim; 5. Анализ полученных результатов.  В результате исследования проанализирована литература по теме, сделана таблица рассмотренных датчиков температуры, выбрана и промоделированная ёмкостная схема считывания.  В результате исследования получена таблица датчиков температуры, схемотехническое решение ёмкостной схемы считывания с 𝑆𝑁𝑅 ≈ 40дБ, полученные результаты можно использовать дальше для применения при проектировании МЭМС-датчиков температуры.

Object of study is MEMS temperature sensor and developing capacitive circuit. The aim is to make a model capacitive detection circuit. The following tasks were solved: 1. Literature review on MEMS temperature sensors, description of operating principles, selection of a sensing element; 2. Literature review on signal detection circuits, selection of a signal processing scheme, description of operating principles; 3. Analysis of the capacitive signal pickup method, circuit design solution; 4. Simulation of the selected method’s circuit in MATLAB and Multisim; 5. Analysis of the obtained results. As a result of the study, literature on the topic has been analyzed, a table of reviewed temperature sensors has been created, and a capacitive readout circuit has been selected and simulated. As a result of the study, a table of temperature sensors has been obtained, along with a circuit design solution for a capacitive readout scheme with an 𝑆𝑁𝑅 ≈ 40 𝑑𝐵. The results can be further utilized in the design of MEMS temperature sensors.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous

Access count: 0 
Last 30 days: 0

Detailed usage statistics