Details

Данная работа посвящена разработке системы автоматизации модернизированного шлюзового модуля для установки ПХТ. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Анализ устройства и основ эксплуатации установок ПХТ. 2. Определение наиболее ценных показателей производительности. 3. Разработка панели автоматизации шлюзового модуля. 4. Проектирование алгоритмов автоматизированного управления модуля шлюза. 5. Реализация алгоритмов автоматизированного управления модуля шлюза и интерфейса управления. Работа проведена на базе АО «НТО», где собиралась значительная часть фактического материала: спроектирована и реализована систему автоматизации нового шлюзового модуля, предоставляющего повышенные показатели эффективности и качества производимой продукции. Были выделены показатели эффективности, которые необходимо увеличить посредством разработки новой модели шлюза. Разработана отдельная система автоматизации шлюза, обособленность которой делает применение модуля более универсальным и подходящим для широкого спектра установок. Спроектированы алгоритмы автоматизации, основанные на последовательном управлении исполнительными устройствами шлюза. Разработана программа автоматизированного управления, основанная на алгоритмах автоматизации. После пусконаладочных работ изготовлены образцы продукции и установлено повышение эффективности установки и качества продукта относительно предыдущей модели шлюзового модуля. На основании  проведенных исследований на базе АО «НТО» было принято решение о введении но-вой модели шлюзового модуля в серийное производство. Для достижения данных результатов в работе было использовано программное обеспечение Gx Works3, TIA Portal, MasterSCADA.

This work is devoted to the development of an automation system for an upgraded gateway module for the installation of PCTs. Tasks that were solved during the research: 1. Analysis of the device and the basics of the operation of PCB installations. 2. Identify the most valuable performance indicators. 3. Development of the gateway module automation panel. 4. Designing algorithms for automated control of the gateway module. 5. Implementation of automated control algorithms for the gateway module and the management interface. The work was carried out on the basis of JSC NTO, where a significant part of the factual material was collected: An automation system for a new gateway module has been designed and implemented, providing improved performance and product quality. Efficiency indicators have been identified that need to be increased through the development of a new gateway model. A separate gateway automation system has been developed, the isolation of which makes the module more versatile and suitable for a wide range of installations. Automation algorithms based on sequential control of the gateway actuators have been designed. An automated control program based on automation algorithms has been developed. After the commissioning work, product samples were produced and an increase in installation efficiency and product quality was established relative to the previous model of the gateway module. Based on the research conducted on the basis of JSC NTO, it was decided to introduce a new model of the gateway module into mass production. To achieve these results, Gx Works3, TIA Portal, and MasterSCADA software were used in the work.

• ВВЕДЕНИЕ
• 1 Аналитический обзор шлюзовых модулей в установках ПХТ
  • 1.1 Общие сведения о шлюзовом модуле в установках ПХТ
  • 1.2 Старая модель шлюзовой камеры
  • 1.3 Зарубежные аналоги шлюзовых модулей
  • 1.4 Выводы
• 2 Основные принципы эксплуатации установки ПХТ
  • 2.1 Принцип действия установки ПХТ
  • 2.2 Устройство установки ПХТ
  • 2.3 Процессная стойка
  • 2.4 Модернизированная шлюзовая камера
  • 2.6 Линия подачи гелия
  • 2.7 Блок распределения воды
  • 2.8 Панель ввода-вывода
  • 2.9 Газовый шкаф
  • 2.10 Форвакуумный насос
  • 2.11 Система напуска сухого азота
  • 2.12 Система пневматическая
  • 2.13 Стойка электронная
  • 2.14 ВЧ генератор GA-13.2 Plasma G20 "HFP" 2000 Вт
  • 2.15 ВЧ генератор GA-13.2 Plasma G20 "HFP" 1000 Вт
  • 2.16 Блок распределения электричества
  • 2.17 Источник бесперебойного питания Macan MRT-3000SE
  • 2.18 Система электропитания и защиты
  • 2.19 Средства измерения, инструменты и принадлежности
    • Регулятор расхода газа SC310C "Sevenstar"
      • Датчик-реле потока ДРУ-ПП-71-15
• 3 Панель автоматизации
  • 3.1 Панель автоматизации процессной камеры
  • 3.2 Подбор комплектующих для панели автоматизации
  • 3.3 Панель автоматизации шлюзового модуля
• 4. Разработка алгоритма
  • 4.1 Алгоритмы шлюза
  • 4.2 Алгоритмы процессной камеры
    • 4.2.1 Перегрузка в процессную камеру
    • 4.2.2 Выгрузка из процессной камеры
    • 4.2.3 Автоматизированных технологический процесс
• 5. Разработка системы автоматизации
  • 5.1 Разработка программы ПЛК шлюзового модуля
  • 5.2 Разработка программы ПЛК процессной камеры
  • 5.3 Разработка SCADA-системы
• 6. Анализ влияния модернизированного шлюзового модуля на качество и производительность технологического процесса
• ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ
• ПРИЛОЖЕНИЕ А