Дыбов, Артем Алексеевич. Оптимизация однородности и скорости плазмохимического травления кремния: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 16.03.01 «Техническая физика» ; образовательная программа 16.03.01_11 «Полупроводниковая фотоника и наноэлектроника» = Optimization of uniformity and etching rate in plasma etching of silicon / А. А. Дыбов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт электроники и телекоммуникаций; научный руководитель В. Ю. Паневин; научный руководитель С. И. Петров. — Санкт-Петербург, 2025. — 1 файл (1,2 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2025/vr/vr25-5278.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2025/vr/vr25-5278. — Текст: электронный
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Всего | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |