Details

В работе предложен метод вычисления параметров усредненных индивидуальных каскадов смещений в сложных системах, состоящих из нескольких слоев различных материалов. Проведены расчёты каскадов смещений в ряде практически важных случаев в широком диапазоне масс и энергий. Также рассчитаны фрактальные размерности формируемых каскадов смещений. Получены значения глубины максимального энерговыделения в упругих столкновениях. Симуляция облучения проведена в приближении парных столкновений в программе TRIM. С использованием разработанного ранее алгоритма выделения объёма, а также относительно нового и ранее не используемого метода с использованием фрактальных размерностей рассчитаны плотности индивидуальных каскадов смещений и построены зависимости плотности каскадов при различных количествах и толщинах слоев. Показано, что оба метода применимы для расчёта плотности каскадов смещений.

In this work, the parameters of the averaged individual displacement cascade in gallium oxide are calculated. A review of the published literature on the formation of structural damage is made. The analysis of defect formation features in gallium oxide, gold, polystyrene, organic glass and nickel oxide was carried out. The ion deceleration in all materials was modeled in a wide range of masses and energies. The irradiation simulation was performed in the approximation of pair collisions in the TRIM program. The values of the depth of maximum energy release in elastic collisions RPD were obtained. Using the previously developed volume extraction algorithm, as well as a relatively new and previously unused method using fractal dimensions, the densities of individual displacement cascades were calculated and graphs of the dependence of the cascade density on the penetration depth were constructed. The calculations were performed for all ions and energies depending on the depth. As a result, it was shown that both methods are applicable for calculating the density of displacement cascades. The fractal dimensions of the formed displacement cascades were also calculated.