Details

В работе рассмотрены теоретические основы магнетронного распыления, спектрофотометрии и рентгенофазового анализа. Проведены два цикла напыления пленок Co и Al на кварцевые подложки с последующим отжигом. Определена толщина напыленных слоёв, построены интерполяционные зависимости толщины от времени распыления. Фазовый состав и кристаллическая структура образцов исследованы методом рентгенофазового анализа. Оптические свойства (пропускание, абсорбция, коэффициент поглощения) изучены методом спектрофотометрии в видимой области. Были установлены оптимальные параметры процесса распыления и отжига, для гарантированного получения шпинели CoAl2O4.

The theoretical foundations of magnetron sputtering, spectrophotometry, and X-ray phase analysis are considered in the work. Two cycles of Co and Al film deposition onto quartz substrates followed by annealing were carried out. The thickness of the deposited layers was determined, and interpolation dependences of thickness on sputtering time were constructed. The phase composition and crystal structure of the samples were studied by X-ray phase analysis. The optical properties (transmittance, absorbance, absorption coefficient) were studied by visible-range spectrophotometry. Optimal parameters of the sputtering and annealing processes were established to ensure the formation of the CoAl2O4 spinel phase.