Детальная информация

Работа посвящена разработке экспериментального стенда, предназначенного для разработки технологии создания эшелона криогенных ксеноновых капель, которые предполагается использовать в качестве мишеней для лазерного импульса, создающего из них искру. Излучение лазерно-плазменной искры может быть использовано в качестве источника экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения для нанолитографа. Экспериментально наблюдался и зафиксирован с помощью скоростной видеосъёмки процесс развития неустойчивости Плато–Рэлея в струе жидкого аргона. Параметры полученного эшелона капель аргона диаметром 0,2 мм с пространственным периодом 0,5 мм могут быть перспективны для источника ЭУФ в нанолитографии. Проведено сравнение экспериментальных данных с теоретическими оценками скорости струи и времени развития неустойчивости.

This work is devoted to the development of an experimental stand designed for the development of a technology for creating a train of cryogenic xenon droplets intended for use as targets for a laser pulse creating a spark from them. The radiation of the laser-produced plasma spark can be used as a source of extreme ultraviolet (EUV) radiation for nanolithography. The process of Plateau–Rayleigh instability development in the liquid argon jet was experimentally observed and recorded using high-speed video. The parameters of the obtained argon droplet train with a droplet diameter of 0.2 mm and a spatial period of 0.5 mm may be promising for an EUV source in nanolithography. Experimental data were compared with theoretical estimates of jet velocity and instability development time.

• ВВЕДЕНИЕ
• Глава 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
  • 1.1 Нанолитография и роль ЭУФ-излучения
  • 1.2 Олово и ксенон как рабочие вещества источника ЭУФ-излучения
  • 1.3 Методы доставки рабочего вещества в область взаимодействия
  • 1.4 Неустойчивость Плато–Рэлея
  • 1.5 Постановка задачи
  • 1.6 Перспективы применения для контроля периферийных локализованных мод
• Глава 2. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ
  • 2.1 Общая схема экспериментального стенда
  • 2.2 Газовая система и тепловая система охлаждения
    • 2.2.1 Теплообменник-ожижитель
    • 2.2.2 Камера формирования
    • 2.2.3 Система измерения и контроля температуры
    • 2.2.4 Калибровка мультиметров
    • 2.2.5 Дополнительные конструктивные элементы
  • 2.3 Система фото- и видеофиксации
• Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
  • 3.1 Методика получения стабильной струи жидкого аргона
  • 3.2 Наблюдение неустойчивости Плато–Рэлея и формирование эшелона капель
  • 3.3 Геометрические характеристики эшелона капель
  • 3.4 Измерение скорости эшелона капель
  • 3.5 Сравнение с теоретическими оценками скорости струи
  • 3.6 Оценка потока атомов мишени
  • 3.7 Реологические свойства аргона и ксенона
  • 3.8 Перспективы увеличения размера мишеней
  • 3.9 Перспективы применения для контроля периферийных локализованных мод
• ЗАКЛЮЧЕНИЕ
• СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ