Login
Search manual

Details

Title Создание криогенных мишеней для лазерно-плазменного источника жесткого ультрафиолетового излучения нанолитографа: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 03.03.02 «Физика» ; образовательная программа 03.03.02_05 «Физика космических и плазменных явлений» = Creation of cryogenic targets for a laser-plasma source of extreme ultraviolet radiation for nanolithography
Creators Царегородцев Михаил Алексеевич
Scientific adviser Сергеев Владимир Юрьевич
Other creators Черноизюмская Т. В.
Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Физико-механический институт
Imprint Санкт-Петербург, 2026
Collection Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция
Subjects лазерно-плазменная искра ; эшелон аргоновых капель ; неустойчивость Плато–Рэлея ; нанолитография ; источник ЭУФ ; laser-produced plasma ; argon droplet train ; Plateau–Rayleigh instability ; nanolithography ; EUV source
Document type Bachelor graduation qualification work
Language Russian
Level of education Bachelor
Speciality code (FGOS) 03.03.02
Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия
DOI 10.18720/SPBPU/3/2026/vr/vr26-3363
Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Additionally New arrival
Record key ru\spstu\vkr\41285
Record create date 7/31/2026

Allowed Actions

–

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network

Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group Anonymous
Network Internet

Работа посвящена разработке экспериментального стенда, предназначенного для разработки технологии создания эшелона криогенных ксеноновых капель, которые предполагается использовать в качестве мишеней для лазерного импульса, создающего из них искру. Излучение лазерно-плазменной искры может быть использовано в качестве источника экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения для нанолитографа. Экспериментально наблюдался и зафиксирован с помощью скоростной видеосъёмки процесс развития неустойчивости Плато–Рэлея в струе жидкого аргона. Параметры полученного эшелона капель аргона диаметром 0,2 мм с пространственным периодом 0,5 мм могут быть перспективны для источника ЭУФ в нанолитографии. Проведено сравнение экспериментальных данных с теоретическими оценками скорости струи и времени развития неустойчивости.

This work is devoted to the development of an experimental stand designed for the development of a technology for creating a train of cryogenic xenon droplets intended for use as targets for a laser pulse creating a spark from them. The radiation of the laser-produced plasma spark can be used as a source of extreme ultraviolet (EUV) radiation for nanolithography. The process of Plateau–Rayleigh instability development in the liquid argon jet was experimentally observed and recorded using high-speed video. The parameters of the obtained argon droplet train with a droplet diameter of 0.2 mm and a spatial period of 0.5 mm may be promising for an EUV source in nanolithography. Experimental data were compared with theoretical estimates of jet velocity and instability development time.

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All
Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU
Read Print Download
Internet Anonymous
  • ВВЕДЕНИЕ
  • Глава 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    • 1.1 Нанолитография и роль ЭУФ-излучения
    • 1.2 Олово и ксенон как рабочие вещества источника ЭУФ-излучения
    • 1.3 Методы доставки рабочего вещества в область взаимодействия
    • 1.4 Неустойчивость Плато–Рэлея
    • 1.5 Постановка задачи
    • 1.6 Перспективы применения для контроля периферийных локализованных мод
  • Глава 2. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ
    • 2.1 Общая схема экспериментального стенда
    • 2.2 Газовая система и тепловая система охлаждения
      • 2.2.1 Теплообменник-ожижитель
      • 2.2.2 Камера формирования
      • 2.2.3 Система измерения и контроля температуры
      • 2.2.4 Калибровка мультиметров
      • 2.2.5 Дополнительные конструктивные элементы
    • 2.3 Система фото- и видеофиксации
  • Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
    • 3.1 Методика получения стабильной струи жидкого аргона
    • 3.2 Наблюдение неустойчивости Плато–Рэлея и формирование эшелона капель
    • 3.3 Геометрические характеристики эшелона капель
    • 3.4 Измерение скорости эшелона капель
    • 3.5 Сравнение с теоретическими оценками скорости струи
    • 3.6 Оценка потока атомов мишени
    • 3.7 Реологические свойства аргона и ксенона
    • 3.8 Перспективы увеличения размера мишеней
    • 3.9 Перспективы применения для контроля периферийных локализованных мод
  • ЗАКЛЮЧЕНИЕ
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
...