Electronic Documents Search
Documents found: 3
-
Creators Буторин П. С.; Калмыков С. Г. Organization "Невская фотоника - 2023", всероссийская научная конференция с международным участием Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Физическая оптика; Ультрафиолетовые лучи; лазерная плазма; ксеноновая лазерная плазма; возбуждение плазмы; ультрафиолетовое излучение; нанолитография; экстремальный ультрафиолет; лазерные пробои; laser plasma; xenon laser plasma; plasma excitation; ultraviolet radiation; nanolithography; extreme ultraviolet; laser breakouts UDC 535.2/3; 535-31 LBC 22.343; 22.347 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97 -
Creators Смирнов Семен Денисович Scientific adviser Кобзев Владимир Васильевич Other creators Смирнова Анна Михайловна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт промышленного менеджмента, экономики и торговли Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Электроника; Литография электронная; наноиндустрия; нанотехнологии; оценка экономической эффективности; анализ отраслевых сегментов экономики; организация внедрения; проект технического перевооружения производства; нанолитография LBC 65.012.12; 65.2/4 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 38.04.02 Speciality group (FGOS) 380000 - Экономика и управление Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-6132-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-6132-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-6132-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-6132 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Горелов В. А.; Сейсян Р. П. Other creators Рудской Андрей Иванович; Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Неделя науки (34; 2005; Санкт-Петербург); Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Совет по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2006 Collection Общая коллекция Subjects неорганические фоторезисты; микроскопы-спектрометры; нанолитография Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 78 Kb
