Details

Объект исследования: газочувствительный элемент на основе оксидных полупроводников. Цель работы: создание отечественного энергоэффективного газового сенсора нового поколения для мониторинга окружающей среды на основе МЭМС технологии. В результате исследования: разработана технология получения тонких пленок оксидных полупроводников методом реактивного магнетронного напыления; исследованы режимы осаждения и отжига пленок NiO. Определены оптимальные параметры газочувствительного элемента; создан прототип МЭМС газового сенсора; проведены испытания чувствительности к сероводороду.

The object of research: gas-sensitive element based on oxide semiconductors. The purpose of the work: creation of domestic energy-efficient gas sensor of new generation for monitoring of the environment based on MEMS technology. As a result of the research: developed technology for obtaining thin films of oxide semiconductors by reactive magnetron sputtering; investigated modes of deposition and annealing of NiO. Determined the optimal parameters of the gas-sensitive element; created a prototype of the MEMS gas sensor; tested the sensitivity to hydrogen sulfide.