Details

Работа посвящена обоснованию маршрута формирования электроконтактов к двумерным и многослойным материалам методом прямого печатного нанесения проводящих чернил. Актуальность связана с влиянием контакта на ввод носителей заряда, форму вольтамперной характеристики и стабильность электронных структур. Объектом являются двумерные и многослойные материалы, предметом – процесс формирования контактов к ним. В работе выполнены анализ литературы и патентов, сформированы требования к оборудованию, материалам, подложкам, режимам нанесения и контролю качества. Рассмотрены контактное сопротивление, барьерность, пиннинг уровня Ферми и повреждение интерфейса при традиционных методах. Предложен маршрут безмасочного формирования контактных площадок методом прямой или аэрозольной печати. Экспериментальная часть выполнена для материалов разных электронных классов. Для графена и MoS2 получены характеристики, близкие к линейным. Для многослойных и магнитных материалов показана возможность печатного формирования контактных площадок. Практическая значимость состоит в создании прикладного производственного маршрута для быстрого контактирования малых и нестандартных образцов материалов в условиях НИИ ОСИС ВМФ ВУНЦ ВМФ «Военно-морская академия».

The work is devoted to substantiating the route of formation of electrical contacts to two-dimensional and multilayer materials by direct printing of conductive ink. The relevance is related to the influence of contact on the insertion of charge carriers, the shape of the voltage characteristic and the stability of electronic structures. The object is two–dimensional and multilayer materials, the subject is the process of forming contacts to them. The paper analyzes the literature and patents, defines the requirements for equipment, materials, substrates, application modes and quality control. The contact resistance, barrier strength, pinning of the Fermi level and interface damage under traditional methods are considered. A route for the maskless formation of contact pads by direct or aerosol printing is proposed. The experimental part was performed for materials of different electronic classes. Characteristics close to linear have been obtained for graphene and MoS2. The possibility of printed formation of contact pads is shown for multilayer and magnetic materials. The practical significance lies in the creation of an applied production route for the rapid contact of small and non-standard samples of materials in the conditions of the Scientific Research Institute of OSIS of the Navy of the VUNC Navy Naval Academy.