Учебное пособие «Практикум по методам измерения свойств материалов микросистемной техники» соответствует образовательному стандарту ООП дисциплины «Методы измерения свойств материалов микросистемной техники» направлению бакалаврской подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника». Учебное пособие «Практикум по методам измерения свойств материалов микросистемной техники» является практическим руководством по выполнению лабораторных работ по курсу «Методы измерения свойств материалов микросистемной техники». Рассмотрены лабораторные по освещаемым в ходе изучения дисциплины методам измерения свойств материалов микросистемной техники, а именно микротвердометрия, эллипсометрия, электрохимическое измерение пористости диэлектрических слоев, а также описана методика статистической обработки полученных результатов, вынесенная в отдельную работу. Каждой группе работ предписано краткое теоретическое введение, необходимое для самостоятельной подготовки студентов к эксперименту и измерениям, подробно описана методика проведения эксперимента и принципы обработки его результатов. Перед выполнением экспериментальной части работы студент обязан сдать коллоквиум по заданной теме. После допуска к экспериментальной части студент индивидуально выполняет одну из лабораторных работ по соответствующей теме и затем представляет полученные результаты и выводы в форме отчета.

• Введение
• 1. Твердометрия и микротвердометрия
  • Основные узлы, устройство и схема действия ПМТ-3
  • Измерение диагонали отпечатка
  • Лабораторная работа №1. Измерение микротвердости методом Виккерса
    • Вопросы для самоподготовки
• 2. Эллипсометрия
  • Устройство эллипсометра
  • Физические основы эллипсометрии
  • Поляризация электромагнитного излучения
  • Процессы, лежащие в основе определения толщины с помощью эллипсометрии
  • Период повторяемости эллипсометрических измерений
  • Обработка результатов измерений
  • Оптические узлы эллипсометра
  • Поляризатор и анализатор
  • Призма Волластона
  • Поляризационный компенсатор
  • Схемы измерения ψ и δ
  • Нулевая схема измерения параметров эллиптически поляризованного излучения (эллипсометр ЛЭМ–3М)
  • Ненулевая схема измерения ψ и δ в эллипсометре ЛЭФ-72
  • Лабораторная работа №2. Измерение толщины слоя диоксида кремния эллипсометрическим методом
    • Цель работы:
    • Задачи работы:
    • Порядок выполнения работы
    • Измерение на ЛЭМ-3М толщины слоя при 70º.
    • Многоугловые измерения на эллипсометре ЛЭФ-72
    • Расчет зависимости периода повторяемости от угла падения луча
    • Учёт числа периодов повторяемости
    • Последовательность действий для определения количества периодов повторяемости
    • Расчет толщины и показателя преломления слоя с помощью программы LEF-72 по углам ψ и δ, измеренным на ЛЭМ-3М.
  • Лабораторная работа №3. Анализ полученных эллипсометрических результатов методами математической статистики
    • Статистическая обработка результатов
    • Выполнение работы:
• 3. Контроль пористости пленок
  • Лабораторная работа №4. Контроль пористости диэлектрических пленок
    • Порядок выполнения работы
    • Материалы отчетного документа
• Список литературы